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马德里高等纳米科学技术研究所罗锋教授来我院访问

发布日期:2020-07-24 11:12|浏览量:   来源:   文:刘桂林;图:刘静;审核:董玉明

2020年7月21日,马德里高等纳米科学技术研究所终身教授罗峰教授应邀来江南大学金沙澳门官网网址交流访问,并做了题为“面向sub-5 nm技术节点环绕式栅极场效应晶体管晶圆制造的极紫外光刻及原子沉积与刻蚀关键制造工艺与装备”精彩报告。东为富院长主持了此次报告会,并对罗锋教授的来访致以热烈的欢迎。化工楼A316报告厅里,百余师生济济一堂、座无虚席,认真聆听报告。

报告中,罗锋教授以我国卡脖子的“极紫外光刻技术(EUVL)”技术出发,详细介绍了微纳加工领域中GAA器件遇到的各种问题,并提出了独到的见解和解决方案,尤其是极紫外光刻技术。接着,罗锋教授就光刻胶领域内的发展现状、存在问题以及可行的解决方案进行了细致的分析,并指出未来可能在微纳加工和极紫外光刻研究领域内的发力点和突破方法,为我院感光材料的发展提供了指导性意见。会后,罗锋教授还与学院师生进行了互动交流,并深入探讨领域内的共性和机理性问题,为研究生的学术研究提供了参考和指导。报告会现场气氛热烈,在场师生受益匪浅。

东为富院长主持报告会

报告会现场

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